اندازه گیری هیدروژن در عمق نمونۀ سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس زده از برخورد کشسان

Authors

محمد ترکیها

mohammad torkiha faculty of physics, university of kashan, km 6 ghotbravandi blvd, kashan, isfahan, iranایران، اصفهان، کاشان، کیلومتر 6 بلوار قطب راوندی، دانشگاه کاشان، دانشکده فیزیک، کد پستی: 8731751167 امیدرضا کاکویی

omid reza kakuee physics & accelerators research school, nstri, tehran, iranپژوهشکده فیزیک و شتابگرها، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران وحید فتح اللهی

vahid fathollahi physics & accelerators research school, nstri, tehran, iranپژوهشکده فیزیک و شتابگرها، پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، تهران، ایران

abstract

سیلیکان متخلخل (ps) از حل الکتروشیمیایی سیلیکان در محلول hf+dmf به دست می آید. در فرایند تشکیل حفره ها در سیلیکان، ترکیبات هیدروژن دار در سطح دیواره های حفره ها ایجاد می شوند. در این تحقیق با اندازه گیری میزان هیدروژن در عمق نمونۀ ps، توزیع تخلخل در عمق نمونه تخمین زده شده است. با توجه با ناکارآمدی نرم افزارهای شبیه سازی متداول آنالیز با باریکۀ یونی، برنامۀ مناسبی برای شبیه سازی به روش مونت-کارلو نوشته شد تا نزدیک ترین توزیع به نتیجۀ آزمایش به دست آید. غلظت هیدروژن در عمق نمونۀ متناسب با میزان تخلخل در نظر گرفته شده است. نتیجۀ به دست آمده نشان می دهد که بیشترین تخلخل برای نمونه 90% بوده است که در عمق nm 139- 69 ایجاد شده است.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

اندازه‌گیری هیدروژن در عمق نمونۀ سیلیکان متخلخل به روش آشکارسازی ذرات پس‌زده از برخورد کشسان

Porous silicon (PS) samples are obtained by electrochemical anodization of Si wafers in HF+DMF solution. The hydrogen complex components are formed on the inner surface walls of porous silicon. In this work the depth profile of porous silicon is estimated by measurement of hydrogen content in the depth of the sample. Since the well-known ion beam analysis simulation programs are inappropriate f...

full text

بررسی خواص پراکندگی سیلیکان متخلخل

  Porous silicon (PS) layers come into existance as a result of electrochemical anodization on silicon. Although a great deal of research has been done on the formation and optical properties of this material, the exact mechanism involved is not well-understood yet.   In this article, first, the optical properties of silicon and porous silicon are described. Then, previous research and the prop...

full text

مشخصه‌یابی آلومینای متخلخل آندی به روش آنالیز با باریکه‌ی یونی

 اکسیدآلومینیم متخلخل به دلیل خواص یگانه­‌ی خود، کاربرد گسترده­ای در فن­‌آوری دارد. کیفیت لایه‌­ی متخلخل، ضخامت این لایه، چگالی و اندازه­‌ی خُلل‌ها، نقش تعیین­‌کننده­ای در عملکرد این ماده‌­ی پیشرفته دارند. اندازه‌گیری مستقیم و غیرمخرب ویژگی­‌های لایه‌­ی‌ متخلخل به منظور کنترل فرایند ساخت و بهبود عملکرد آن، از چالش‌های پیش‌روی پژوهش‌گران است. در این پژوهش، سعی شده است تا با استفاده از توانمندی آن...

full text

طراحی وساخت دستگاه اندازه گیری عمق کارگاوآهنها

در کشاورزی مکانیزه اندازه گیری عمق کار ادوات خاک ورزی از اهمیت خاصی برخوردارمیباشد. آگاهی از عمق کارگاوآهنی می تواندکنترل یکنواختی عملیات در مرحله تهیه زمین و در نتیجه افزایش عملکرد محصول را به دنبال داشته باشد. درمحاسبه نیروی کشتی مورد نیاز گاو آهن ونیز بررسی پیرامون کارایی ماشینهای کشاورزی اندازه گیری عمق کار ضروری می باشد. در این تحقیق برای تعیین عمق کارگاو آهن های برگداندار ‘ چیزل و بشقابی ...

full text

اندازه گیری Ni2+ در نمونه های آب پس از پیش تغلیظ بر روی جاذب میکرو ذرات یا نانو ذرات گوگرد، مطالعه اثر اندازه جاذب.

چکیده: نانوذرات گوگرد از طریق روش میکروامولسیون آب/ روغن سنتز شد. مطالعه مقایسه ای بین نانوذرات گوگرد سنتز شده و میکروذرات گوگرد در استخراج و پیش تغلیظ یون های نیکل از نمونه های مختلف آب پیش از اندازه گیری توسط اسپکتروسکوپی جذب اتمی شعله انجام شد. تاثیر پارامترهای تجزیه ای شامل pH محلول نمونه، بافت نمونه، شرایط حلال شویشی، سرعت عبور محلول نمونه، حجم نمونه و یون های مزاحم برای هر یک از جاذب ها ب...

full text

اندازه گیری مدول یانگ به روش فراصوتی

روش­های مختلفی برای اندازه­گیری مدول یانگ[i] وجود دارد. یکی از این روش­ها، روش فراصوتی است. روش فراصوتی به دلیل دارا بودن مزایایی همچون حساسیت، دقت و سرعت بالا و نداشتن محدودیت از نظر جنس ماده، در تعیین خواص مواد و شناسایی محل و ابعاد عیوب مختلف از اهمیت خاصی برخوردار است. سرعت امواج فراصوتی طولی و عرضی در یک قطعه استوانه­ای از جنس St37 اندازه­گیری و با توجه به رابطه بین این سرعت­ها و مدول یانگ...

full text

My Resources

Save resource for easier access later


Journal title:
سنجش و ایمنی پرتو

جلد ۳، شماره ۲، صفحات ۳۳-۳۶

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023